- Czochralski Furnace
CZ(Czochralski、チョクラルスキー)法による単結晶育成装置で、
工業的に採用されている一般的な育成炉です。
本装置は、当社の考案したADC(Automatic Diameter Control)システムにより、
制御性の高い自動育成のみならず、IOT化によって随時アクセス可能な制御を
実現しました。
- Bridgeman Furnace
本装置は、ブリッジマン法に基づき、原料をるつぼ中で溶解し、
温度勾配を設けた炉内でるつぼを移動させ、一方向凝固により結晶を育成する装置です。
- Micro-Plling down Furnace
- 本装置は、各用途毎にるつぼ底へ設計されたダイと呼ばれる小さな穴からるつぼ内で溶解された原料を供給し、
シードを引き下げることにより結晶を育成する装置です。
ロッド、板、チューブ、角棒、ファイバー等、様々な形状での育成が可能です。
- Skull Melting Furnace
- コイルの誘導電流から生じた磁場により直接原料を加熱・溶融します。
貴金属坩堝が不要となり、低コスト化、坩堝材からの不純物混入減、
雰囲気ガスの選択肢増など、結晶育成において多数のメリットがあります。